SEM+EDS电子扫描电镜检测

SEM+EDS到底是什么？

SEM：利用阴所发射的电子束经阳加速，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息，经过分别收集，放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。

EDS：入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析，高能电子束轰击样品表面，激发各种信号。

可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析；

SEM主要利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像。

EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。

 

 

电子扫描显微镜(SEM+EDS)

通过电子束扫描样品表面电磁偏转线圈。由二次电子获得表面。

 

测试标准：JY/T0584-2020  ;GB/T 17359-2012

主要检测内容：

1.表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测（可达3nm的解析度）；
2.微薄镀层厚度测量（良好的前处理，可测量0.1µm甚至更低膜厚）；
3.表面失效分析（污染、异色、腐蚀、损伤等检测）；
4.表面相分析、夹杂物鉴别等；
5.金属断口分析；
6.焊接或合成界面分析；
7.锡须观察。

应用案例：

 

 

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